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          02专项产品简介
          发布时间:2016/6/28 11:20:09   浏览次数:5624次 
          “02专项”产品简介
              中船重工第七一八研究所 (简称PERIC)与南大光电、光明院等5家协作单位申请的“02”国家科技重大专项--高纯电子气体研发与产业化项目,已于2013年初获得国家立项并得到国家财政支持!02专项”全称为极大规模集成电路制造装备及成套工艺,是由专项实施管理办公室组织,属于科技部重点项目。该项目旨在开发集成电路关键制造装备,掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术,打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况,带动相关产业的技术提升和结构调整。此项目中,718所共承担NF3、WF6、SiF4、C2F6、C4F8、C3F8、HF、HCl、COF2及电子混合气体等19种气体的研制及产业化工作。
              NF3及WF6产品目前我所已有成熟的技术及生产经验,并有多年的产业化经验,完全能够满足客户的需求。
              COF2产品已完成了研制及小试生产,纯度达到99%以上。
              SiF4、C2F6等产品的研制工作已基本结束,预计于2015年将实现产业化生产,各产品的产业化情况如下:
          气体名称 纯度 产业化规模
          SiF4 99.999% 50吨/年
          C2F6 99.9993% 50吨/年
          C4F8 99.9993% 50吨/年
          C3F8 99.9995% 30吨/年
          HF 99.999% 10吨/年
          HCl 99.999% 50吨/年

          气体应用:
              上述气体主要用于IC制造过程中的外延、离子注入、扩散、蚀刻、沉积、清洗等关键工艺。
              目前,718所已与无锡华润上华科技有限公司或上;绾炅Π氲继逯圃煊邢薰净蛑行竟始傻缏分圃煊邢薰镜惹┒┝瞬馐孕,上述单位将负责该项目中所有气体的测试等工作。
              联系方式:销售部 0310-7182720,0310-7184723
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