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          新闻动态
          中芯国际一行稽核我所02专项产品
          发布时间:2016/11/26 0:26:54   浏览次数:4856次 

          近日,中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)采购、品质、安全环境、产品负责人一行11人对我所02专项产品(C4F8、HCl、SiF4及三种高纯混气)进行测试前现场审核。

          中芯国际一行参观了我所特气车间中控室及NF3、WF6车间现场,检查了C4F8、HCl、SiF4及高纯混气生产线,审核了品质、环保等相关文件,对我所特气产业近期取得的显著成绩给出了肯定,并表示希望与718所共同努力,加快02专项产品的测试进程,以保证02专项的产品尽快实现上线销售。

          目前,我所的C4F8、HCl、SiF4已顺利通过中芯审核,并很快完成上线测试。预计明年将实现上线销售。

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